半导体专用设备受益股有：
晶盛机电（300316）：12月21日该股主力资金净流入3704.74万元，超大单资金净流入818万元，大单资金净流入2886.75万元，中单资金净流出2915.96万元，散户资金净流出788.79万元。
从晶盛机电近五年净利润来看，近五年净利润均值为13.43亿元，过去五年净利润最低为2018年的5.82亿元，最高为2022年的29.24亿元。
捷佳伟创（300724）：12月21日消息，捷佳伟创12月21日主力净流入5424.4万元，超大单净流入1278.41万元，大单净流入4145.99万元，散户净流出6171.26万元。
从公司近五年净利润来看，近五年净利润均值为5.95亿元，过去五年净利润最低为2018年的3.06亿元，最高为2022年的10.47亿元。
公司主要从事泛半导体专用设备的研发、生产和销售服务，是国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备供应商和整体解决方案的提供商。
北方华创（002371）：12月21日消息，北方华创主力资金净流出8112.07万元，超大单资金净流出727.13万元，散户资金净流出8096.38万元。
从公司近五年净利润来看，近五年净利润均值为9.02亿元，过去五年净利润最低为2018年的2.34亿元，最高为2022年的23.53亿元。