碳化硅衬底行业概念股有：

　　晶盛机电300316：12月22日晶盛机电盘中消息，7日内股价上涨2.44%，今年来涨幅下跌-44.5%，最新报42.250元，涨1.04%，市值为553.02亿元。

　　公司是晶体硅生长设备供应商，拥有自主品牌的晶体硅生长设备及其控制系统的研发、制造和销售。主营产品为全自动单晶硅生长炉、区熔硅单晶炉、单晶硅滚圆机、单晶硅截断机、全自动硅片抛光机、双面研磨机、单晶硅棒切磨复合加工一体机等。在半导体领域，公司承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目的“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”两项课题，已进入产业化阶段；成功研发了6-12英寸晶体滚圆机、截断机、双面研磨机及6-8英寸的全自动硅片抛光机，已逐步批量销售。公司于2021年10月25日晚发布向特定对象发行股票预案，拟募资57亿元用于碳化硅衬底晶片生产基地项目、12英寸集成电路大硅片设备测试实验线项目、年产80台套半导体材料抛光及减薄设备生产制造项目和补充流动资金。

　　科创新源300731：12月22日讯息，科创新源3日内股价下跌3.21%，市值为26.12亿元，跌0.54%，最新报20.660元。

　　参股安徽微芯长江半导体3.37%，微芯长江碳化硅衬底项目已主体封顶，可年产12万片6英寸碳化硅晶圆。

　　露笑科技002617：12月22日消息，露笑科技截至13时02分，该股跌0.66%，报6.040元，5日内股价下跌3.97%，总市值为116.15亿元。

　　深耕碳化硅产业多年，具备碳化硅长晶设备以及碳化硅衬底材料制造能力，与合肥市合作投资100亿元碳化硅产业园项目。

　　东尼电子603595：东尼电子（603595）10日内股价上涨2.95%，最新报39.960元/股，跌0.2%，今年来涨幅上涨13.41%。

　　目前公司碳化硅半导体材料项目主要研发6英寸导电型碳化硅衬底材料。