12月28日午后数据显示，光刻清洗设备概念报涨，迈为股份（128.35，21.39，20%）领涨，捷佳伟创(73.6，7.66，11.62%)、沃特股份(19.92，0.65，3.37%)、北方华创(245.19，6.59，2.76%)等跟涨。
相关光刻清洗设备概念股有：
1、迈为股份：
近3日股价上涨0.98%，2023年股价下跌-88.39%。
2、捷佳伟创：
近3日捷佳伟创下跌0.77%，现报73.6元，2023年股价下跌-42.71%，总市值255.28亿元。
3、沃特股份：
沃特股份在近3个交易日中有2天下跌，期间整体下跌5.55%，最高价为20.65元，最低价为19.67元。2023年股价上涨9.7%。