光刻技术概念股有：
苏大维格（300331）：1月24日消息，苏大维格5日内股价下跌21.01%，市值为47.83亿元。
公司长期从事激光直写光刻机的研制，尤其在用于新一轮光子传感器的纳米光刻机研制领域积累了丰富且较为完善的技术经验，可为国内外高等院所和企业提供自主可控的直写光刻技术和光电子材料与器件技术方案。
惠伦晶体（300460）：1月24日消息，惠伦晶体7日内股价下跌12.26%，截至09时35分，该股报10.160元，涨0.79%，总市值为28.53亿元。
公司通过光刻技术加工晶圆用于生产小型化、高基频晶片，该晶片主要为自用以进一步封装生产小型化、高基频晶振。