PECVD概念股有：

　　立霸股份603519：

　　公司在营业总收入方面，从2019年到2022年，分别为12.84亿元、12.99亿元、15.87亿元、14.16亿元。

　　在近7个交易日中，立霸股份有4天下跌，期间整体下跌3.76%，最高价为13.16元，最低价为12.66元。和7个交易日前相比，立霸股份的市值下跌了1.23亿元。

　　公司作为有限合伙人的嘉兴君励投资于国内半导体设备企业沈阳拓荆。沈阳拓荆主要从事半导体薄膜设备的研发、生产和销售，主要产品包括8英寸和12英寸PECVD（等离子体化学气相沉积）设备、ALD（原子层薄膜沉积）设备、3DNANDPECVD（三维结构闪存专用PECVD）设备等，产品广泛应用于集成电路前道和后道、TSV封装、光波导、LED、3D-NAND闪存、OLED显示等领域的生产制造。

　　通威股份600438：

　　在营业总收入方面，通威股份从2019年到2022年，分别为375.55亿元、442亿元、648.3亿元、1424.23亿元。

　　近7日股价下跌8.67%，2024年股价下跌-4.29%。

　　公司“TNC”技术采用通威自主研发的PECVD多晶硅沉积技术路线，通过原位掺杂方式降低电阻，提高填充因子，进而提升光电转换效率。当前以公司“TNC”技术生产的高效组件具备全面量产条件，其双面组件在全面保证质量的前提下，较传统的PERC双面组件平均单W发电量将增益3%-5%。

　　中来股份300393：

　　在营业总收入方面，中来股份从2019年到2022年，分别为34.78亿元、50.85亿元、58.2亿元、95.77亿元。

　　近7个交易日，中来股份下跌17.89%，最高价为10.6元，总市值下跌了17.54亿元，2024年来下跌-14.89%。

　　公司的POPAID技术采用的是PECVD隧穿氧化+PVD多晶硅的解决方案，公司目前未获知有其他公司使用相同解决方案。