薄膜沉积设备上市公司龙头股有：

　　北方华创（002371）：薄膜沉积设备龙头，北方华创公司2023年第三季度营收约61.62亿元，同比增长34.88%；净利润约10.31亿元，同比增长16.48%；基本每股收益2.05元。

　　近5个交易日，北方华创期间整体上涨2.47%，最高价为256.78元，最低价为238元，总市值上涨了32.82亿。

　　微导纳米（688147）：薄膜沉积设备龙头， 2023年第三季度显示，公司实现营收约6.39亿元，同比增长178.72%； 净利润约6935.11万元，同比增长140.32%；基本每股收益0.19元。

　　公司开发了对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备，已先后获得国内多家知名半导体公司的商业订单，并在报告期内实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺（高介电常数栅氧层材料沉积环节）中的突破。此外，公司已与多家国内半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等合作，针对国内半导体薄膜沉积各细分应用领域研发试制新型ALD设备。

　　近5日股价下跌12.4%，2024年股价下跌-23.35%。

　　拓荆科技（688072）：薄膜沉积设备龙头，拓荆科技2023年第三季度季报显示，公司实现营收约6.99亿元，同比增长49.22%； 净利润约1.1亿元，同比增长13.3%；基本每股收益0.47元。

　　近5个交易日股价下跌12.69%，最高价为199.38元，总市值下跌了41.33亿。

　　薄膜沉积设备概念股其他的还有：

　　中微公司：1月23日消息，中微公司3日内股价上涨0.39%，最新报137.340元，跌1.97%，成交额5.95亿元。

　　捷佳伟创：1月23日收盘消息，捷佳伟创最新报价67.800元，涨4.88%，3日内股价下跌7.54%；今年来涨幅下跌-15.07%，市盈率为22.53。

　　国力股份：1月23日消息，国力股份开盘报价37.35元，收盘于37.550元。5日内股价下跌15.31%，总市值为36.02亿元。